Nitridgebundenes Siliziumnitrid: Wiederverwendbare Tiegel für die gerichtete Erstarrung von Silizium

Nitridgebundenes Siliziumnitrid: Wiederverwendbare Tiegel für die gerichtete Erstarrung von Silizium
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ISBN: 9783839609507
Autor: Veronika Schneider
Sprache: Deutsch
Einband/Bindung: Taschenbuch
Seitenzahl: 145
Erscheinungsjahr: 2015
Verlag: Fraunhofer Verlag
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Beschreibung
Diese Dissertation untersucht den Einsatz alternativer, mehrmalig einsetzbarer Tiegel aus Siliziumnitrid (Si3N4) für die gerichtete Erstarrung von Silizium. Das Potential der Tiegel wird systematisch evaluiert, wobei die Untersuchungen auf die Benetzung der Tiegel durch das flüssige Silizium, auf deren Wiederverwendbarkeit sowie auf die Verunreinigung des Siliziums durch die Tiegel fokussiert sind.
Artikel-Nr.: 9783839609507
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